清洁度检测方法——颗粒尺寸数量法

清洁度测定方法对过程控制、*和失效分析非常重要。检测清洁度时一定要保持环境清洁，其清洁程度应与检测的要求相适应。

清洁度的测定方法很多，这里简单介绍下颗粒尺寸数量法。

这是一种零件清洁度检测新方法。其基本原理是根据被检测的表面与污染物颗粒具有不同的光吸收或散射率。其测定方法是，将零件在一定的条件下清洗，将清洗液通过的滤膜充分过滤，污染物被收集在滤膜表面，然后将滤膜烘干，用显微镜（具有图像识别和分析功能）在光照射下检测，按颗粒尺寸和数量统计颗粒污染物，即可得到所测物体零件的固体颗粒污染物结果。这是一种适合精密清洗定量化的清洁度检测方法，尤其适用于检测微小颗粒和带色杂质颗粒。

颗粒尺寸数量法极限值：对特定规定的零件，规定一定样品数量、检测频率、清洗介质、清洗参数和操作过程的情况下，将颗粒按尺寸大小统计，每个尺寸范围分别规定准许的最大颗粒数量，只要有某一项超标，则测试结论为不合格。