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使用清洁度无尘室的必要性

发布日期: 2022-06-16
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清洁度无尘室是颗粒物污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内的微粒物、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。 

 

清洁度无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求,在工业上即使让粒子的尺寸小于0.1微米,也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。

 

清洁度无尘室其主要的作用在于控制产品(如锂电池等)所接触的大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。由于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使电池芯片失效或可靠性降低。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造*的要素。

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