小型化与高精度
工业生产中的零部件日趋小型化,同时对测量精度的要求也在不断提高,MICURA正是针对这一全新需求定制的解决方案。MICURA采用蔡司VAST XT gold扫描探头与navigator技术, 可在主动式扫描时获得微米级的测量精度。它尤其适于测量用于光学和电子产品的结构复杂的小型工件。尽管采用紧凑型设计,系统却具备500 x 500 x 500毫米的测量能力——性能远超同类产品。
精准的高速扫描
蔡司VAST XT gold探头具有高速扫描功能,除可在极短时间测定几何特征外,还可精准测量及评定形状误差如圆度、平面度等特性。探针zui小直径仅为0.3毫米。
极速扫描:VAST navigator
PRISMO navigator可极速获取zui为精准的测量结果。navigator技术是为蔡司所研发的高速高精度扫描技术。智能优化参数设定以确保测量的精准度。得益于切线逼近扫描、螺旋扫描和测针快速动态校准等功能,可进一步缩短测量时间。
自0.7 + L/400 μm起
测量范围
X | Y | Z | |
5/5/5 | 500 | 500 | 500 |
计算机辅助精度修正(CAA)
PRISMO navigator可实现对测量机动态误差的有效补偿,从而确保即便于高速扫描过程中仍可获得理想的测量精度。
操作与人体工学
全新设计控制面板,配备LCD显示屏及双手柄控制面板,使用方便快捷。
成熟的设计
典型应用
仪器参数 | ZEISS MICURA |
外形尺寸(mm) | 1295*1245*2600 |
测量范围(mm) | 500*500*500 |
测量精度(μm) | 0.7+L/400 *起 |
工作模式 | 机动/自动 |
长度测量系统 | 玻璃陶瓷光栅尺 |
探头系列 | 基于VAST及Navigator扫描技术的主动式三维连续扫描系统 |
软件 | CALYPSO |
配套 | 温度补偿系统、主动减震系统,可选探针库位架 |
工作电源 | 100-240V(±10%),50-60Hz(±3.5%) |